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等离子清洗机是高精度的干法清洗设备,它的清洗范围为纳米级别的有机和无机污染物、去残胶以及内腐蚀(深腐蚀)应用、有机物以及无机物的残留物去除、光刻胶剥离或灰化
半导体等离子清洗机提高黏附性,消除键合问题
半导体封装等离子清洗机 清除微粒污染 氧化层 有机物 避免虚焊
等离子去胶机 清洗设备满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用,从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。微波等离子清洗设备支持各向同性和各向异性的各种应用。
芯片粘接前处理:等离子清洗机去除材料表面污染物,增加 表面润湿性能,提升胶体流动性,保证与其他材料的结合能力
塑封前处理:等离子清洗机去除材料表面污染物,使芯片表面与塑封材料结合牢固,减少分层与气泡等不良的产生
金属键合前处理:等离子清洗机去除金属焊盘上的有机污染物,提高焊接工艺的强度和可靠性
光刻胶去除:等离子清洗机去除残留的光刻胶及其他有机物,活化和粗化晶圆表面,提高晶圆表面润湿性能
等离子去胶机 清洗设备广泛用于1、等离子表面活化/清洗2、等离子处理后粘合3、等离子蚀刻/活化4、等离子去胶;5、等离子涂镀(亲水,疏水)6、增强邦定性7、等离子涂覆8、等离子灰化和表面改性等场合通过等离子清洗机的处理,能够改善材料表面的浸润能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂
等离子去胶机 清洗设备应用于刻蚀、脱胶、涂层、灰度、等离子体表面处理。通过等离子清洗机处理提高材料表面的润湿性,从而提高材料的涂层等性能,增强材料的附着力、粘结力和去除有机污染物。
等离子去胶机 清洗设备增加表面张力,精细清洁,去除静电,活化表面等功能
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